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直线电机在半导体行业应用
直线电机是采用直接驱动的方式，取消了从电机到工作台之间的一切中间环节，把工作台进给传动链的长度缩短为零；替换了传统的旋转电机加上旋转变为直线运动的机械转换机构的直线运动方式；直线电机有以下优点：
- 进行加速或者减速时，具有较大的加速度及减速度，直线电机的最大加速度可达1g到5g（g为重力加速度）。而回转电机+滚珠丝杠传动方式的进给加速度只有0.1g到0.3g。
- 进给速度高，直线电机实际可用的最高速度可达2.5m/s至3m/s，而传统回转电机+滚珠丝杠的传动方式的进给速度只有1m/s
- 运行平稳。直线电机和工作台之间没有任何机械传动环节，靠磁力推动工作，所以运行平稳、响应迅速、噪声小、传动刚度大、定位精度和重复定位精度高；
- 启动推力大。启动推力与直线电机动子绕线线径、闸数和通过电机的电流大小有关，理论上在空间足够的情况下可实现无限推力；
- 有机械和电器的保护，并具备经受恶劣环境的能力；
- 容易维修和更换，保养维护简单，寿命长；
- 直驱的驱动方式，行程长度不受限制
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